Enkeltkrystalvækstovn
Anvendelse
Enkeltkrystalovne, der ofte bruges til dyrkning af halvlederbarrer af silicium, safir eller germanium. Typiske layouts er vertikale krystaludtrækkere med døråbning foran.
Fordele
Vi kan sikre de to vigtigste parametre, der er nødvendige for kritisk vækst: stabilitet og kontrol. Begge er nødvendige for at opnå konsistens, repeterbarhed og ensartethed – nøglerne til vellykket krystalvækst i laboratoriet og i produktionen.
1. Stabilitet giver krystaldyrkeren et kendt og konstant miljø til krævende krystalvækst. Stabilitet sikrer ensartede, nøje definerede temperaturer og termiske gradienter for ensartede smelter og zoneforfining. Stabilitet kræver velkontrollerede gas- eller vakuummiljøer. Stabilitet i krystalvækst kræver jævne, meget konstante, vibrationsfri bevægelser med store og dynamiske områder, programmerbare første og anden derivater og multiaksekonfigurationer – men alt skal kontrolleres.
2. Kontrol opnås via vores automatiske computersystemgrænseflade, som holder temperaturerne præcist, hvor de er indstillet, og konstante ændringer hurtigt og jævnt til nye værdier med minimal overskridelse. Bevægelsessystemet skal levere trækhastigheder, der er meget konsistente i både tid og rum fra øjeblik til øjeblik og fra uge til uge. Positionsnøjagtigheden skal opretholdes gennem hele trækcyklussen for at sikre konsistente og gentagelige resultater fra krystalvækstsystemet.
3. Giver dig et komplet, integreret præcisionskrystaldyrkningsudstyrmed automatisk diameterkontrol og førende digelteknologier.
Detaljetegning











